Подскажите пожалуйста, что за вытяжка такая ATEX и проходит ли потом воздух через газоочистные в этой ВС? В каких ситуациях например для моносилана и подобных газов используем этот тип ВС, а вкаких случаях используется обычная GEEX ?

ATEX - директивы ЕС описывающие требования к оборудованию и работе в потенциально взрывоопасной среде. В июле 2006 года Евросоюзом были приняты нормы, направленные на защиту людей, работающих во взрывоопасных местах, от взрывов.
У вас там цифры должны быть, означающие опасность среды и в соответствии с ними надо все оборудование подбирать.

ATEX - это не название фирмы и не торговая марка, а действующая в Европе директива (правила). Российские чиновники не участвовали в разработке этих правил и ATEX в России не имеет силы закона. Что касается существа этого термина, то это правила для оборудования, работающего во взрывоопасной воздушной среде. Т.е. то, что оборудование должно быть взрывобезопасным. Маркируется специальным графическим знаком с буквами Ex (эксплозион - взрыв). А термин ATEX рассшифровывается словами "атмосфере эксплозион".